プラスチックやフィルムなど、低温での成膜を可能にしたスパッタリング装置です。また、サンプルへのダメージが少ないため、スパッタリングのダメージにお困りのお客様のお役に立てると考えております。
現在１インチから３インチまでのサンプルに対応可能です。
それ以上のサンプルサイズにつきましてはご相談ください。